歡迎訪問蘇州飛時曼精密儀器有限公司網站!

首頁 > 產品中心 >原子力顯微鏡 >工業型原子力顯微鏡 >FM-NanoviewLS-AFM工業型原子力顯微鏡

工業型原子力顯微鏡

型 號FM-NanoviewLS-AFM

更新時間2019-01-30

所屬分類工業型原子力顯微鏡

訪問次數1214

產品描述:工業型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM◆ 實現樣品保持不動,探針移動掃描的原子力顯微鏡;◆ 采用閉環三軸獨立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測;◆ 龍門架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附式載物臺;◆ 超大行程二維電動樣品移動臺,快速選擇感興趣的樣品區域;◆ 高倍光學定位系統,實現探針

產品概述

工業型原子力顯微鏡 
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 實現樣品保持不動,探針移動掃描的原子力顯微鏡;
◆ 采用閉環三軸獨立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;
◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測;
◆ 龍門架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附式載物臺;
◆ 超大行程二維電動樣品移動臺,快速選擇感興趣的樣品區域;
◆ 高倍光學定位系統,實現探針

工業型原子力顯微鏡技術參數

◆ 基本工作模式:接觸、輕敲、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式:Profile線快速測量模式
◆ 最大樣品尺寸:Φ≥300mm,H≥50mm
◆ 閉環掃描范圍:XY向100um,Z向10um
◆ 閉環掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍:300mm×300mm
◆ 輔助光學定位:10X物鏡,光學分辨率1um(可選配20X,光學分辨率0.8um)
◆ 氣動式減震臺,減震頻率0.5Hz
◆ 噪音水平:<0.1nm
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 數據采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運行環境:WindowsXP/7/8/10操作系統

工業型原子力顯微鏡 應用范圍

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
在線客服
毛片免费全部播放无码